Ультра прецизионная система для контроля оптических деталей сложной и прецизионной формы, асферических линз большого диаметра и деталей лазерных установок.
Идеальное сочетание сверхвысокой точности с универсальностью измерений и полной автоматизацией.
При наличии возможности измерять практические вертикальные уклоны при отсутствии ограничений в отклонении асферических линз, прибор PGI 3D Optics обладает гибкостью, необходимой для измерения огромного количества оптических компонентов, применяемых в различных отраслях промышленности. Наличие нового (полностью автоматического) пользовательского интерфейса и трехмерной индикации результатов. Система обеспечивает выполнение комплексной оценки погрешности формы детали и неравномерности кривизны поверхности для большинства литых, шлифованных деталей или деталей после алмазной обработки.
Производсво оптических деталей, являются одним из самых востребованных направлений, в котором используются программы измерения формы со сверхвысокой точностью. Новая система измерения формы оптических компонентов - FormTalysurf PGI 3D Optics отвечает самым жестким метрологическим требованиям к новым и уже существующим видам линз, предлагая широкий спектр областей применения
Особенности и преимущества
Таблица системы с датчиком на базе фазового шкального интерферометра Form Talysurf
Диапазон датчика |
Разрешение датчика |
Горизонт. перемещение |
Горизонт. прямолинейность |
Колонна |
Шум |
Изоляционная кабина |
4 мм |
3,2 нм |
120 мм |
0,35 мкм на 120 мм |
450 мм |
5 нм |
Опция |
ОСЬ Х |
Мотопривод 120 мм |
Мотопривод 200 мм |
Длина трассы max/min |
120 мм/0.1 мм |
200 мм/0.1 мм |
Скорость транспортная/ измерения |
10 мм/с – 0.1 мм/с |
|
Шаг дискретизации |
0.125 мкм |
|
Непрямолинейность направляющей(Pt)мкм |
0.35 мкм |
0.75 мкм |
ОСЬ Z |
Мотопривод 120 мм |
Мотопривод 200 мм |
Номинальный диапазон |
4, 8,12 мм (со щупом 60 мм) |
|
Разрешающая способность |
0,2; 0,8; 3,2; 12,5 нм |
|
Длина щупа, радиус, измерительное усилие |
60 мм, 2 мкм радиус, 1 мН |
|
120 мм, 0.5 мм радиус, 20 мН |
||
Общие характеристики |
Мотопривод 120 мм |
Мотопривод 200 мм |
Сфера для калибровки (неопределенность радиуса) |
22 мм (номинал), сфера (0.4 мкм) |
|
80 мм (номинал), сфера (0.8 мкм) |
||
Неопределенность калибровки -Pt |
0.15 мкм (со щупом 60 мм) |
|
0.3 мкм (со щупом 120 мм) |
||
Собственный шум Rq |
2;3;5 нм |
|
Неопределенность измерения параметров шероховатости |
2% + 4 нм (только для высотных) |
|
Неопределенность измерения радиусов % (стандартный датчик) |
для радиусов 0,1 – 12 мм 0,02+(12-R)x1,65x10-1 |
|
для радиусов 12 – 22 мм 0,02 |
||
для радиусов 22 – 10000 мм 0,02+(R-22)x9,25x10-5 |
||
Неопределенность измерения углов |
0.5 мин. (диапазон ±35 град) |